課程名稱

積體電路製造技術

3學分

3小時

英文課程名稱

Integrated circuits fabrication technologies

中文課程概要

1.MOS元件工作模式及MOSFET原理； 2.微小MOSFET的額外考慮； 3.矽晶圓的生長； 4.CMOS IC製程； 5.光罩與微影術； 6.氧化處理； 7.擴散與離子植入； 8.化學蒸氣沉積技術； 9.蒸鍍與濺鍍。

英文課程概要

In this lecture, the following topics will be introduced: 1.Operating modes & theory of MOS devices; 2.Small-geometry effects on MOS devices; 3.Silicon wafer growth; 4.CMOS IC fabrication processes; 5.Photomasks & photolithography; 6.Oxidations; 7.Diffusion & ion implantation; 8.CVD techniques; 9.Evaporation & sputtering.