課程名稱

真空技術

3學分

3小時

英文課程名稱

Vacuum Technology

中文課程概要

先修課程：感測技術或負責教授同意。真空技術基本概念，各種真空邦浦原理，真空元件用材料特性，各種真空元件，真空壓力量測技術，真空計工作原理，真空系統設計，真空測漏技術，真空系統之各種應用，使用及維修。

英文課程概要

An introduction course for the basic concept of vacuum technology, vacuum pump, system components and their material properties. The measuring methods of vacuum system, working principals of vacuum meter, system design, leak-detecting technology and the applications of vacuum system will also be presented.